La puerta de la válvula de hendidura es un componente especial para el aislamiento de cavidades y el control de encendido y apagado en sistemas de vacío. Nombrada por su adaptación a la abertura rectangular de "hendidura de transferencia" entre la cavidad de transferencia y la cavidad de proceso, cae en la categoría de válvulas de aislamiento accionadas por puerta. Con su estructura compacta y rendimiento de sellado fiable, se ha convertido en un componente clave de sistemas de vacío en campos de fabricación de alta gama y investigación científica. Su diseño central se desarrolla en torno a los requisitos de sellado y aislamiento de entornos de vacío, teniendo en cuenta la respuesta de apertura-cierre y el control de limpieza, y es adecuado para una variedad de condiciones de trabajo duras.
En términos de principio de funcionamiento, la puerta de la válvula de hendidura realiza el encendido-apagado de la trayectoria de flujo a través del movimiento lineal de la placa de puerta, formando una barrera de aislamiento entre cavidades. En el estado cerrado, la placa de compuerta está estrechamente unida al asiento de la válvula, y el flujo de gas se bloquea por la presión estructural y las características de las partes de sellado para mantener el estado de vacío dentro de la cavidad. En el estado abierto, la placa de compuerta se eleva y cae verticalmente a la parte superior de la cavidad de la válvula, haciendo que la trayectoria de flujo sea completamente desobstruida y proporcionando un canal para la transferencia de piezas de trabajo tales como obleas y sustratos o la circulación de gas. Se admiten métodos de conducción neumáticos, eléctricos y otros, que se pueden seleccionar de acuerdo con los requisitos de automatización del sistema. Algunos modelos pueden lograr acciones rápidas de apertura y cierre para adaptarse al ritmo de operación de condiciones de trabajo de alta frecuencia.
El diseño estructural de la puerta de la válvula de hendidura tiene una pertinencia distinta. El cuerpo de la válvula está hecho principalmente de materiales resistentes a la corrosión como el acero inoxidable, que puede resistir la erosión de los medios de proceso y el medio ambiente y prolongar la vida útil. La estructura de sellado está optimizada y emparejada con piezas de sellado especiales para lograr un rendimiento de fuga bajo, que puede satisfacer los requisitos de estanqueidad al aire de entornos de alto vacío y ultra alto vacío. Para cumplir con los requisitos de limpieza, el producto adopta un diseño de baja generación de partículas para reducir las impurezas generadas por el movimiento y la fricción de la placa de puerta y evitar contaminar el entorno de vacío. Al mismo tiempo, la estructura general es compacta, y la profundidad de instalación se adapta a la limitación de espacio de la abertura de hendidura, que puede integrarse sin problemas en la posición de interfaz de la cavidad de transferencia y la cavidad de proceso, teniendo en cuenta la conveniencia de instalación y la compatibilidad del sistema.
Las características básicas también se reflejan en la adaptabilidad a las condiciones de trabajo. Algunos modelos soportan condiciones de trabajo de horneado al vacío a alta temperatura, pueden soportar un cierto rango de cambios de temperatura sin afectar el rendimiento de sellado; Los modelos sellados totalmente metálicos pueden adaptarse a entornos de uso más duros y hacer frente a los desafíos planteados por las altas fluctuaciones de presión y temperatura. Además, la válvula tiene una alta estabilidad durante el funcionamiento, y todavía puede mantener el efecto de sellado y el movimiento suave después de la apertura y cierre repetidos, reduciendo la frecuencia de mantenimiento.